Controlling the shape and gap width of silicon electrodes using local anodic oxidation and anisotropic TMAH wet etching
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| 第一著者: | |
|---|---|
| フォーマット: | Citation Index Journal |
| 出版事項: |
2012
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| オンライン･アクセス: | http://eprints.utp.edu.my/9070/ |
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