A CMOS-MEMS Piezoresistive Accelerometer with Large Proof Mass

This paper reports a low-cost, high-sensitivity CMOS-MEMS piezoresistive accelerometer with large proof mass. Inherent CMOS polysilicon thin film was utilized as piezoresistive material and full Wheatstone bridge was constructed through easy wiring allowed by three metal layers in CMOS thin films. T...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Md Khir, Mohd Haris, Qu, Hongwei
التنسيق: Conference or Workshop Item
منشور في: 2010
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://eprints.utp.edu.my/3451/1/A_CMOS-MEMS_Piezoresistive_Accelerometer_with_Large_Proof_Mass.pdf
http://eprints.utp.edu.my/3451/
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!