A CMOS-MEMS Piezoresistive Accelerometer with Large Proof Mass
This paper reports a low-cost, high-sensitivity CMOS-MEMS piezoresistive accelerometer with large proof mass. Inherent CMOS polysilicon thin film was utilized as piezoresistive material and full Wheatstone bridge was constructed through easy wiring allowed by three metal layers in CMOS thin films. T...
محفوظ في:
المؤلفون الرئيسيون: | , |
---|---|
التنسيق: | Conference or Workshop Item |
منشور في: |
2010
|
الموضوعات: | |
الوصول للمادة أونلاين: | http://eprints.utp.edu.my/3451/1/A_CMOS-MEMS_Piezoresistive_Accelerometer_with_Large_Proof_Mass.pdf http://eprints.utp.edu.my/3451/ |
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|