Analytical Modeling of Plus Shape MEMS Paddle Bridge Resonant Sensor for Weak Magnetic Fields

In this paper, we present an analytical model of novel plus shape MEMS paddle bridge resonant sensor to estimate electromechanical behavior, damping, electrostatic actuation and capacitive detection. The analytical model is derived using the Reynold's method for squeeze film and Rayleigh meth...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Ahmad,, Farooq, Md Khir, Mohd Haris, Hamid, Nor Hisham, Dennis, John Ojur
التنسيق: مقال
منشور في: IEEE 2011
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://eprints.utp.edu.my/7172/1/stamp.jsp%3Ftp%3D%26arnumber%3D6088350%26tag%3D1
http://ieeexplore.ieee.org
http://eprints.utp.edu.my/7172/
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!